正航整理抽气装置真空技术术语

正航整理抽气装置真空技术术语

1.抽气装置的抽气量

流经抽气装置进气口的气体流量。

2.真空系统的放气速率

由真空系统所有表面解吸气体所产生的气体流量。

注：在真空系统内部经常出现一种漏气假象。这种情况叫做"虚漏"。

3.真空系统的漏气速率

由于漏气渗入到真空系统中并影响真空容器中压力的气体流量。

4.真空容器的升压速率

在温度保持不变时，抽气系统关闭后，在给定时间间隔内容器的压力升高量除以该时间间隔之商。该商有可能不是恒定的。

5.压力

泵在工作时，空载于燥的真空容器逐渐接近稳定的压力。

6.残余压力

经过一定时间的抽气之后或真空过程结束之后还存在于真空容器中的气体或气体棍合物(残余

气体)的全压。在某些情况下残余压力等于压力。

注:在真空技术中，"气体"→词按广义的理解，即可适用于非冷凝性气体也可应用于蒸汽。

7.残余气体谱

真空容器中残余气体的质谱。

8.基础压力

在真空容器中可以开始实施工艺时的压力。

注:在某些真空工艺中，例如表面的分析，基础压力也称作为"本底压力"。

9.工作压力

在真空容器中为实施工艺所必需的压力(可能还有压力范围)。

10.粗抽时间

前级真空泵或前级真空抽气装置从大气压抽至基础压力或抽至在较低压力下工作的真空泵的

起动压力所需要的时间。

11.抽气时间

将真空系统的压力从大气压降低到一定压力，例如降到基础压力所需要的时间。

12.真空系统时间常数

将真空容器中的压力降低到初始压力的l/e 所需要的时间。在抽速恒定时，该时间常数为容器

体积除以抽气系统的抽速得出之商。

13.真空系统进气时间

经过规定的装置放入的空气使真空系统(或真空容器)内的压力由工作压力升高到较高的压力

(一般到大气压)所需要的时间。如果放入的是空气，那么该时间称作为"通大气时间"。