真空密封技术术语介绍

真空密封技术术语介绍

1.真空法兰连接

在两个法兰之间用一个适宜的可变形的密封拌造成一个真空密封连接的一种可挥部式真空连接。

2.真空密封垫

放置于两个零件之间的一个可拆卸的真空连接件，用其进行密封的一种可变彭的构件。在某些

场合借助于支承架(例如垫圈密封) ，材料的选择要程所要求的真空范围需定，通常用弹性体或金属。

3.真空密封圈

一种环形真空密封件。

注:有各种不同截面形状的真空密封圈，例如:"0"形密封圈产V"形密封圈， "L"形密封圈和其它型材的密封件〈金属型材密封件)。

4.真空平密封垫

用扁平材料制得的一种真空密封件。

5.真空引入线

通过真空容器器壁使运动气体或被体、电流或电压传递或引入的一种装置。这种装置通常支承在真空容器对大气密封的法兰上。

在真空中能用来作多种运动，一般来说作于动和麓转运动的传递运动的真空引入线称作为"多关节操作视。"

6.真空轴密封

用来密封轴的一种真空密封件，它能将旋转和(或)移动运动相对地传递到真空容器器壁内。

真空窗装在真空容器器壁上能霞电碰辐射或微粒辐射穿透的一种装置(倒如列纳尔特窗)。

7.观察窜

作为理察装置运转情况的一种真空窗。

注：在某些应用场合必须对观察窗的光学性能提出一定的要求。

8.真空隔门的特性

主要是萄真空间门外壳对大气的真空密封住，真空间门的流导和真空隔门的阀座漏气率。

9.真空阀门的流导

在间门打开状态下的气体流动的琉导。

注：2 在样本中，真空阀门的流导常常以"当量管长度"列出，这里设管的名义口径与阀的名义口在相同。

10.真空阀门的阀座漏气率

在关闭状态下由阀座漏入的气体流率。它取决于气体种类、压力、温度和调门出、进气口的压

差。

11.真空调节阀

能调节由真空阔隔开的真空系统部件之间的流率的一种真空阀。

12.微谓阀

用来微量调节进入真空系统中的气体量的真空阀。

13.充气阀

担气体充入真空系统的阀。

14.进气阀

将气体放入到真空系统中的一种真空控制阀。